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高精度光纤定位：在整片晶圆上对所有V型槽进行同步加工，实现48、96及更多通道数下，累积pitch公差或绝对网格误差低至 ±0.250 μm。
先进的V型槽工艺：提供更高设计灵活度，同一阵列内可实现不同的间距与表面结构（V/U 型、凸面、凹面、自由曲面等）的同步加工。
可集成机械定位结构：支持被动对准和高精度装配，实现结构与功能一体化。
晶圆级全检：通过几何测量与接触点测量，对关键性能参数进行 100% 检测并分析所有的光纤中心位置。
多种性能等级可?。嚎筛菘突枨蠛陀τ贸【?，提供标准精度版本和高精度版本。
成熟的量产平台：依托20余年大批量光学制造经验，具备稳健、高度可扩展的生产能力。
技术指标
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光纤定位与性能相关参数 (1) |
标准精度版本 |
高精度版本 |
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V型槽阵列 X 方向误差 (2) (4) |
< 500 nm |
< 250 nm |
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V型槽阵列 Y 方向误差 (3) (4) |
< 750 nm |
< 350 nm |
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V型槽线性定位精度 (4) |
± 0.010 mm |
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V型槽间距公差 (X 方向) (4) |
± 500 nm |
± 200 nm |
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侧壁垂直度 (5) |
90 ± 0.3° |
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V型槽表面粗糙度 (Ra) |
< 0.2 μm |
< 0.02 μm |
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V型槽深度 |
可自由定制 |
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V型槽角度 |
60°、90°或定制 |
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V型槽角度公差 |
< ± 2° |
< ± 1° |
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V型槽间距（X 方向） |
0.127 mm、0.250 mm，或定制；同一产品上可实现多种间距 |
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产品尺寸与材料 |
? |
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长度 / 宽度尺寸（圆形或方形） |
最大可达 300 mm |
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长度 / 宽度公差 |
± 0.025 mm |
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厚度公差 |
± 0.050 mm |
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平台高度 (Plateau) |
3 0.100 mm |
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平台高度 (Plateau) 公差 |
± 0.020 mm |
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通道数 |
8、16、32 (36)、48、96、128 或定制 |
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表面质量 – V型槽区域 |
5/ E0.1，如有需要可进一步减少崩边 |
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表面质量 – 外缘区域 |
5/ E0.1，如有需要可进一步减少崩边 |
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材质 |
Borofloat 33、熔融石英、S-TIH53、S-BSL7（及类似材料如 N-BK7）、硅；其他无毒光学玻璃可按需提供 |
注:
(1) 多个参数之间存在相互影响，并非需要全部进行评估、报告或作为验收标准。如需更多信息或询问超出规格的需求，请与我们联系。
(2) 相对于标称位置的横向偏差，或水平方向上的真实定位公差。
(3) 相对于标称位置的纵向偏差，或垂直方向上的真实定位公差。
(4) 以嵌入光纤的中点为基准。
(5) V型槽 pitch 轴与前表面之间的垂直度。
股票代码 688167 
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